专利 SuperSoftMark® 无碎屑刻印 . 
符合Class 1 洁净室(clean room) 规格要求 .
超级稳定专利二极体(diode pumped)¿E¥ú .
可选配工厂用自动化通讯网路SECS II/GEM介面 .
无须外接冷却设施 .