提供您所有对
300mm
自动化生产的相容需求
专利
SuperSoftMark¨
无碎屑刻印
.
符合Class 1 无尘室规格要求
可选配工厂用自动化通讯网路
SECS II/GEM
介面
.
2
个
FOUP
平台
可选配符合
SEMI
规格
M1.15
(T7 & M12 SEMI规格)的
"
先读后刻
"
功能
可选配支撑晶圆边缘的机器手臂及晶圆方位校正器
Windows NT的工作平台
