超極穩定
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專利的二極體激發雷射
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十分彈性的生產用刻印能力
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適用於100mm~ 200mm (4",5", 6" 和 8") 晶圓
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選用
300 mm kit
可適用於
150 mm, 200 mm, and 300 mm(6",8"
和
12")
晶圓
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可
選刻
SEMI OCR, BC412, 2D Matrix
及其他形式字型
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可選用刻印讀取器及刻印辨識器
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可選配工廠用自動化通訊網路
SECS II/GEM
介面
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無須外部冷卻水供應
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