專利
SuperSoftMark®
無碎屑
刻
印
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符合
Class 1
潔淨室
(clean room)
規格要求
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超級穩定
專利二極體(diode pumped)雷射
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可選配工廠用自動化通訊網路
SECS II/GEM
介面
無須外接冷卻設施
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