提供您所有對300 mm自動化生產的
專利SuperSoftMark® 無碎屑刻印. 
符合Class 1 無塵室規格要求
可選配工廠用自動化通訊網路SECS II/GEM介面.
 2個FOUP 平台
可選配符合SEMI規格 M1.15 (T7 & M12 SEMI 規格)的"先讀後刻"功能
可選配支撐晶圓邊緣的機器手臂及晶圓方位校正器
Windows NT的工作平台