Propose toutes les compatibilités attendues pour une production 300mm automatisée
SuperSoftMark®, un procédé breveté de marquage sans débris
Compatibilité salle blanche Classe 1
Interface SECS II/GEM
2 stations FOUP
Lecture/Ecriture conforme à la norme SEMI M1.15 (Specs SEMI T7 & M12)
Manipulateur sur champ de wafer (en option) et aligneur 300mm
Logiciel sous Windows NT
