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Liefert
die benötigte Kompatibilität für automatische
300-mm-Produktion
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Patentierter
SuperSoftMark® für sauberes Beschriften
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Klasse 1 Reinraum-Kompatibilität
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SECS
II/GEM-Schnittstelle für Werkskommunikation/Netzwerke |
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Zwei
FOUP-Stationen |
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Optionale
Lese- und Schreibvorgänge gemäß SEMI M1.15
(T7 & M12 SEMI specs)
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Optionaler
Roboter und Ausrichter zur Kantenhandhabung |
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Software
basierend auf Windows NT
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