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Fornisce
tutta la compatibilità necessaria per la produzione
automatizzata da 300mm
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SuperSoftMark®
per marcatura priva di residui con brevetto
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Compatibilità Classe 1 per locali privi di
polvere
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Interfaccia
SECS II/GEM per comunicazione/connessione di rete nell'impianto |
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Due
stazioni FOUP |
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Lettura
e traccia opzionali, in conformità a SEMI M1.15 (T7
& M12 SEMI) |
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Robot
e allineatore opzionali di gestione dei bordi |
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Software
basato su Windows NT |
