デブリ発生を抑えた SuperSoftMark(R)（特許取得済）
クラス １ クリーンルーム対応
極めて安定な、特許ダイオードポンプレーザ
工程内通信／ネットワークを構築する SECS II/GEM インタフェイス（オプション）
外部冷却装置不要
