300mm 自動化生産ラインに要求されるあらゆる互換性を提供
デブリ発生を抑えた SuperSoftMark(R)（特許取得済）
クラス １ クリーンルーム対応
工程内通信／ネットワークを構築する SECS II/GEM インタフェイス（オプション）
2 カセット FOUP ステーション
SEMI M1.15 （T7 および T12 SEMI 仕様）対応、リード／スクライブ オプション
エッジハンドリング ロボット／アライナオプション
Windows NT ベース ソフトウェア
