300mm 자동화 생산을 위해 필요한 모든 호환성을 제공
잔해없는 마킹을 위한 SuperSoftMark® 특허
CLASS 1 클린룸 적용
공장 자동화및 네트워킹을 위한 SECS II/GEM 인터페이스 옵션
2개의 FOUP stations
SEMI M1.15을 위한 Read와 Scribe 적용
Edge Handling Robot 와 Aligner 옵션
Windows NT를 기초로한 소프트웨어
